簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: pass_date={"gte":"2023-10-01"} and stat="3" and ckeyword.raw="晶圓檢測發展"


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    碳化矽晶圓的非破壞性檢測方法對於晶圓缺陷之成像分析
    • 機械工程系 /112/ 碩士
    • 研究生: 曾奕鈞 指導教授: 鄭正元
    • 碳化矽是製造高功率半導體元件之重要的寬能隙(WBG)半導體材料,然而在晶圓的製造與加工過程當中,容易使晶圓產生缺陷進而影響製成元件之性能,對於碳化矽或矽晶圓質量有負面的影響,因此需要晶圓檢測找出並定…
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    • 全文公開日期 2027/02/06 (校外網路)
    • 全文公開日期 2027/02/06 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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